小型真空ポンプを利用し真空ピンセットで6インチウエハーを搬送する

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小型真空ポンプを利用し真空ピンセットで6インチウエハーを搬送する

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小型真空ポンプを利用し真空ピンセットで2インチウエハーを搬送する

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小型真空ポンプを利用し真空ピンセットで2インチウエハーを搬送する

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小型真空ポンプを利用しポーラスチップ付の真空ピンセットで12インチウエハーを搬送する

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